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クライオポンプ 原理 321564-クライオポンプ 冷却 原理

クライオポンプ 原理 321564-クライオポンプ 冷却 原理
   

クライオポンプの2段目の凝縮パネルの内側に、 多孔質 の吸着パネル（ 吸着剤 ）を付けることによって、 物理吸着 を用いて残留気体を排気する。 凝縮パネルが適切な極低温に保たれていない場
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